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對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需材料的高品質(zhì)金剛石的期望

2022-08-31 00:00:00
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  對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需材料的高品質(zhì)金剛石的期望,讓鯤鵬精密智能科技來個(gè)大家說說看吧

  一、半導(dǎo)體材料的特性

  半導(dǎo)體材料的特征參數(shù)是帶隙、電阻率、載流子遷移率、非平衡載流子壽命和位錯(cuò)密度。

  電阻率、載流子遷移率:反映材料的電導(dǎo)率;

  非平衡載流子壽命:對(duì)外反映半導(dǎo)體材料的作用

  內(nèi)部載流子從非平衡態(tài)躍遷到平衡態(tài)的弛豫特性;

  位錯(cuò)密度:用來衡量半導(dǎo)體單晶材料的晶格完整性程度。

  半導(dǎo)體材料的特性參數(shù)不僅可以反映半導(dǎo)體材料與其他非半導(dǎo)體材料的差異,更重要的是可以反映各種半導(dǎo)體材料甚至同一種材料在不同情況下的特性差異。

  二、金剛石半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電機(jī)理

  半導(dǎo)體材料的導(dǎo)電機(jī)制是通過電子和空穴兩種載流子實(shí)現(xiàn)的,分為N型和P型。金剛石作為IV族元素,在其晶體結(jié)構(gòu)中可以看出有兩個(gè)面心立方結(jié)構(gòu),它們是沿體對(duì)角線平移1/4晶格常數(shù)而形成的。碳原子以sp3雜化軌道與相鄰的4個(gè)碳原子共價(jià)鍵合,形成規(guī)則的四面體結(jié)構(gòu)。通過在金剛石中摻雜適當(dāng)?shù)脑兀梢愿淖兤潆娦阅埽蛊鋸V泛用作半導(dǎo)體材料。在電氣設(shè)備中。

  型摻雜

  摻硼半導(dǎo)體金剛石單晶是制備高溫大功率半導(dǎo)體元件的優(yōu)先選擇材料,在電子、核能、航空航天等領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。目前,應(yīng)進(jìn)一步研究金剛石的硼摻雜,通過選擇合適的硼源和調(diào)整硼的摻雜濃度來提高摻硼金剛石的載流子遷移率,并將其應(yīng)用于二極管、場(chǎng)效應(yīng)晶體管和制備過程中。檢測(cè)器等,提高了設(shè)備??的工作性能。

  型摻雜

  實(shí)現(xiàn)基于pn結(jié)的同質(zhì)外延金剛石電子應(yīng)用非常重要,是雙極器件發(fā)展的關(guān)鍵。科學(xué)家們嘗試在金剛石中摻雜氮、硫、鋰和磷等元素,以實(shí)現(xiàn)其 n 型導(dǎo)電性。由于金剛石中氮的較深雜質(zhì)能級(jí)(距導(dǎo)帶底部1.7-2 eV的深能級(jí)),含氮金剛石在室溫下是良好的絕緣體,金剛石的n型導(dǎo)電性無法實(shí)現(xiàn)。硫原子的半徑遠(yuǎn)大于碳原子的半徑,金剛石的摻入會(huì)引起大量的晶格畸變,導(dǎo)致大量的晶格缺陷,使大部分硫失去活性。

  三、金剛石半導(dǎo)體的應(yīng)用

  具有高載流子遷移率、高熱導(dǎo)率、高擊穿電場(chǎng)、高載流子飽和率和低介電常數(shù)等一系列優(yōu)異的物理化學(xué)性能,尤其在電子技術(shù)領(lǐng)域受到廣泛關(guān)注和認(rèn)可作為非常有前途的新型半導(dǎo)體材料。基于這些優(yōu)勢(shì),超寬帶隙半導(dǎo)體材料的使用可以使新一代電子器件變得更小、更快、更可靠、更有效。這有助于降低電子元件的質(zhì)量、尺寸和生命周期成本,同時(shí)允許設(shè)備在更高的溫度、電壓和頻率下運(yùn)行,并使電子設(shè)備能夠以更少的能源實(shí)現(xiàn)更高的性能。

  金剛石用于半導(dǎo)體行業(yè),首要條件是要有一定的規(guī)格和質(zhì)量要求。地球上天然金剛石的儲(chǔ)量非常稀缺,而能夠滿足尺寸和質(zhì)量要求的天然金剛石比例,如何大幅度降低大尺寸金剛石單晶材料的成本是解決金剛石單晶問題的根本。半導(dǎo)體行業(yè)的巨大需求。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所需材料

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