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半導體產(chǎn)業(yè)所需材料的主要制造材料

2022-09-23 00:00:00
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  半導體產(chǎn)業(yè)所需材料的主要制造材料,讓鯤鵬精密智能科技來給大家說說看吧

  一、拋光材料

  半導體中的拋光材料一般是指CMP化學機械拋光工藝中使用的材料。 CMP拋光是實現(xiàn)晶圓均勻全局平坦化的關鍵工藝。

  拋光材料一般可分為拋光墊、拋光液、調(diào)理劑和清潔劑,其中前兩種非常關鍵。拋光墊的材質(zhì)一般為聚氨酯或聚酯加飽和聚氨酯,拋光液一般由超細固體顆粒磨料(如納米級二氧化硅、氧化鋁顆粒等)等組成。

  二、光刻膠

  光刻膠又稱光刻膠,是一種對光敏感的混合液體。其成分包括:光引發(fā)劑(包括光敏劑、光產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他添加劑。光刻膠可以通過光化學反應和曝光、顯影等光刻工藝,將所需的精細圖案從光掩模(掩模)轉(zhuǎn)移到待處理的基板上。根據(jù)使用場景的不同,這里要加工的基板可以是集成電路材料、顯示面板材料(LCD)或印刷電路板(PCB)。光刻膠根據(jù)化學反應原理的不同可分為正性光刻膠和負性光刻膠。

  光刻膠所屬的微電子化學品是電子工業(yè)與化學工業(yè)交叉的領域,是典型的技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè)。從事微電子化工業(yè)務需要與電子行業(yè)前沿發(fā)展相匹配的關鍵生產(chǎn)技術(shù),如與生產(chǎn)過程相匹配的混合技術(shù)、分離技術(shù)、提純技術(shù)、分析檢測技術(shù)、環(huán)境治理和監(jiān)測技術(shù)等。光刻膠的技術(shù)壁壘包括配方技術(shù)、質(zhì)量控制技術(shù)和原材料技術(shù)。配方技術(shù)是光刻膠功能的核心,質(zhì)量控制技術(shù)可以保證光刻膠性能的穩(wěn)定性,優(yōu)質(zhì)的原材料是光刻膠性能的基礎。

  三、掩膜版

  業(yè)內(nèi)又稱為光掩模、光掩模、光刻掩模,材質(zhì):石英玻璃、金屬鉻和光刻膠,本產(chǎn)品以石英玻璃為基材,在其上鍍上一層金屬鉻和感光膠成為一種感光材料。將設計好的電路圖案通過電子激光設備曝光在感光膠上,對曝光區(qū)域進行顯影,在金屬鉻上形成電路圖案,與曝光后類似。然后將負片的光掩模應用于集成電路的投影和定位,通過集成電路光刻機對投影電路進行光刻。


半導體產(chǎn)業(yè)所需材料

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