X 射線三維顯微鏡中常用的 X 射線源有以下幾種類型，其功率大小也各有不同：

　　熱陰極 X 射線管

　　工作原理：通過加熱陰極燈絲，使燈絲中的電子獲得足夠能量逸出，在高壓電場(chǎng)作用下加速撞擊陽極靶材，產(chǎn)生 X 射線。

　　功率范圍：功率通常在幾十瓦到數(shù)千瓦之間。對(duì)于一些常規(guī)的用于材料微觀結(jié)構(gòu)分析或生物樣本初步觀察的 X 射線三維顯微鏡，采用幾百瓦功率的熱陰極 X 射線管即可滿足需求。而在需要更高分辨率和更強(qiáng)穿透能力的應(yīng)用中，可能會(huì)使用千瓦級(jí)功率的熱陰極 X 射線管。

　　微焦點(diǎn) X 射線管

　　工作原理：同樣基于熱電子發(fā)射原理，但通過特殊的設(shè)計(jì)和工藝，能夠?qū)㈦娮邮劢沟椒浅Ｐ〉慕裹c(diǎn)上，從而產(chǎn)生高亮度的 X 射線。

　　功率范圍：一般在幾十瓦到幾百瓦。雖然功率相對(duì)不是特別高，但由于其焦點(diǎn)很小，能在較小的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生較高的 X 射線強(qiáng)度，適用于對(duì)微小樣本進(jìn)行高分辨率成像的 X 射線三維顯微鏡，如集成電路檢測(cè)、微小生物樣本的精細(xì)結(jié)構(gòu)觀察等。

　　同步輻射 X 射線源

　　工作原理：利用電子在同步加速器中做圓周運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生的同步輻射光，通過特殊的光束線和實(shí)驗(yàn)站將其引導(dǎo)和處理后作為 X 射線源。

　　功率特性：其功率很高，且具有高亮度、高準(zhǔn)直性、寬能譜等優(yōu)點(diǎn)。它的亮度比普通 X 射線源高幾個(gè)數(shù)量級(jí)甚至更多。在一些大型科學(xué)研究機(jī)構(gòu)中，利用同步輻射 X 射線源的 X 射線三維顯微鏡，可用于研究極 其微小尺度的結(jié)構(gòu)和動(dòng)態(tài)過程，如材料的原子尺度結(jié)構(gòu)變化、生物分子的構(gòu)象變化等。

　　新型 X 射線源（如自由電子激光 X 射線源）

　　工作原理：通過讓相對(duì)論電子束在周期性變化的磁場(chǎng)中運(yùn)動(dòng)，產(chǎn)生相干的 X 射線輻射。

　　功率前景：具有很高的峰值功率和很強(qiáng)的相干性。雖然目前還處于發(fā)展和應(yīng)用拓展階段，但在未來的 X 射線三維顯微鏡中具有巨大潛力，可能為材料科學(xué)、生命科學(xué)等領(lǐng)域帶來更具突破性的研究成果，例如實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)生物分子在飛秒時(shí)間尺度上的動(dòng)態(tài)成像。