在半導體封裝工藝中,固晶機(Die Bonder)作為關鍵設備之一,其性能直接影響芯片封裝的良率和效率。Esec 2100系列固晶機憑借其卓越的精度、速度和穩定性,成為*封裝領域的標桿設備。本文將深入解析該系列設備的技術特點、應用場景及行業價值。
1. 亞微米級定位精度
采用線性電機驅動和高分辨率光學系統,實現±0.5μm的貼裝精度,滿足Flip Chip、SiP等*封裝需求。
2. 模塊化設計架構
通過可更換的吸嘴模塊、視覺系統和焊頭組件,快速適配不同尺寸芯片(2x2mm至15x15mm)和封裝形式。
3. 智能溫度控制系統
集成實時溫度反饋的加熱平臺,控溫范圍50-400℃±1℃,支持環氧樹脂、共晶焊等多種粘接工藝。
1. 功率器件封裝
針對IGBT、MOSFET等大尺寸芯片(10x10mm以上),通過高剛性機械結構和真空吸附系統實現零破損轉移。
2. 光電子器件組裝
搭配UV固化模塊和精密點膠系統,適用于激光器、傳感器等光通信器件的共晶焊接。
3. 3D堆疊封裝
多工位協同作業能力支持TSV芯片的精準對位,實現每分鐘300+芯片的貼裝速度。
1. AI視覺檢測系統
集成深度學習算法,可自動識別芯片缺陷(裂紋、崩邊等)和焊盤偏移,不良品攔截率達99.97%。
2. 數字孿生接口
通過OPC UA協議與MES系統直連,實時監控設備OEE、MTBA等關鍵指標,助力智能工廠建設。
3. 綠色節能設計
采用再生制動能量回收技術,能耗較傳統機型降低35%,符合SEMI S23能源標準。
| 型號 | 2106 | 2108 | 2110 |
|---|---|---|---|
| 貼裝精度 | ±1μm | ±0.8μm | ±0.5μm |
| UPH | 12,000 | 15,000 | 18,000 |